අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදනයේදී, ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලිය චිප් අස්වැන්න තීරණය කරන තීරණාත්මක, නිරවද්යතාවයෙන් මෙහෙයවන පියවරකි. වේෆර් නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේ “නිරාවරණය සහ ප්රතිබිම්බකරණයේ හරය” ලෙස, ලිතෝග්රැෆි සමස්ත වැඩ ප්රවාහයම ආවරණය කරයි - භ්රමණ ආලේපනය, නිරාවරණය, සංවර්ධනය, කැටයම් කිරීම සහ තෙත් පිරිසිදු කිරීම ඇතුළුව - සහ පාරිසරික පිරිසිදුකම, අපිරිසිදුකම පාලනය, විද්යුත් ස්ථිතික ආරක්ෂාව සහ රසායනික ප්රතිරෝධය සඳහා අතිශයින් දැඩි අවශ්යතා පනවයි. මයික්රෝන මට්ටමේ දූවිලි අංශු, අංශු අයන සංක්රමණය සහ අස්ථිර විද්යුත් ස්ථිතික විසර්ජන සියල්ලම සෘජුවම ප්රභා ප්රතිරෝධක දෝෂ, රටා වැරදි ලෙස පෙළගැස්වීම, වේෆර් ඔක්සිකරණය සහ පරිපථවල ක්ෂුද්ර-කෙටි පරිපථ ඇති කළ හැකි අතර, එමඟින් සම්පූර්ණ වේෆර් සීරීමට හේතු වන අතර දැවැන්ත නිෂ්පාදන පාඩු ඇති වේ. බොහෝ FABs ඔවුන්ගේ ෆොටෝලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලීන්ගේ අස්වැන්න වැඩි දියුණු කිරීමට අරගල කරයි. උපකරණ, ක්රියාවලීන් සහ පාරිසරික පරාමිතීන් සියල්ල පිළිවෙලට තිබියදීත්, බාධකය බොහෝ විට නොවැදගත් ලෙස පෙනෙන අත් ආරක්ෂණ පරිභෝජන ද්රව්යවල පවතී. සාමාන්ය පන්තියේ 1,000 හෝ කාර්මික ශ්රේණියේ පිරිසිදු කාමර අත්වැසුම් ෆොටෝලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේ අතිශය ඉහළ ප්රමිතීන් සඳහා සම්පූර්ණයෙන්ම නුසුදුසු වේ.
ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේදී සාමාන්ය පිරිසිදු කාමර අත්වැසුම් භාවිතය දැඩි ලෙස තහනම් කර ඇත්තේ ඇයි?
කුඩු අපද්රව්ය ප්රභා ප්රතිරෝධක දූෂණයට හේතු වේ
අධික සල්ෆර් සහ ක්ලෝරයිඩ් අයන වේෆර් මත ඇති පරිපථ විඛාදනයට ලක් කරයි.
ස්ථිතික විදුලිය පාලනයෙන් තොර වූ අතර, නිරවද්ය ෆොටෝලිතෝග්රැෆි වේෆරයක බිඳවැටීමක් ඇති විය.
නිෂ්පාදන ක්රියාවලියේදී විදේශීය ද්රව්ය දෝෂ ඇති කරන, පීල් වීම සහ ගැලවී යාම.
LjieClean පන්තිය 100 කුඩු-නිදහස් නයිට්රයිල් අත්වැසුම්
Suzhou Leader අර්ධ සන්නායක වේෆර් නිෂ්පාදන අංශය කෙරෙහි අවධානය යොමු කරමින් ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේ වේදනා ලක්ෂ්ය ආමන්ත්රණය කරමින්, අපි සම්පූර්ණ වේෆර් ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේ නිෂ්පාදන අවශ්යතා පරිපූර්ණ ලෙස සපුරාලන විශේෂිත 100 පන්තියේ කුඩු-නිදහස්, අඩු-වායු පිටවන නයිට්රයිල් අත්වැසුම් නිපදවා ඇති අතර, ඒවා බොහෝ ෆැබ් සහ වේෆර් ඇසුරුම් සහ පරීක්ෂණ සමාගම් සඳහා වඩාත් කැමති ආරක්ෂිත පරිභෝජන ද්රව්ය බවට පත් කරමු.
1.ඩයික්ලෝරයිඩ්-පාදක කුඩු-නිදහස් ක්රියාවලිය: ෆොටෝලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලියේදී කුඩු දූෂණයක් නොමැත.
අර්ධ සන්නායක-විශේෂිත ක්ලෝරිනීකරණ පිරිසිදු කිරීමේ ක්රියාවලියක් භාවිතා කරමින්, මෙම ක්රමයට සම්පූර්ණ ක්රියාවලිය පුරාම ටැල්ක්, ඉරිඟු පිෂ්ඨය හෝ සිලිකොන් තෙල් වැනි සහායක ආකලන එකතු කිරීම අවශ්ය නොවේ. එය ක්රියාවලිය හරහාම සුමට යෙදීම සහතික කරයි, ප්රභවයේ ප්රභා ප්රතිරෝධකය දූෂණය කරන කුඩු අංශු සහ සිලිකොන් තෙල් අපද්රව්ය ඉවත් කරයි, එමඟින් ප්රභා ශිලා ලේඛන ක්රියාවලියේ විදේශීය අංශු දෝෂ සම්පූර්ණයෙන්ම විසඳයි.
2 බහු-අදියර අති පිරිසිදු ජලය සේදීම මඟින් අඩු සල්ෆර්, අඩු ක්ලෝරීන් සහ අඩු අයන අන්තර්ගතයක් ලබා ගනී.
ඉහළ පිරිසිදු ජලය සමඟ ගැඹුරු සේදීමේ චක්ර කිහිපයක් හරහා, අමුද්රව්ය ආකලන සහ මතුපිට අපද්රව්ය ඉවත් කරනු ලැබේ. සල්ෆර්, ක්ලෝරීන් සහ ද්රාව්ය ලෝහ අයනවල අන්තර්ගතය දැඩි ලෙස පාලනය වන අතර, එහි ප්රතිඵලයක් ලෙස අඩු NVR (වාෂ්පශීලී නොවන අපද්රව්ය) ඇති වේ. මෙය වේෆර් ඔක්සිකරණය, ආලේපන විඛාදනය සහ කැටයම් දෝෂ වළක්වයි, එමඟින් අත්වැසුම් 8- සහ 12-අඟල් වේෆර් සඳහා ඉල්ලුමක් ඇති ලිතෝග්රැෆි ක්රියාවලීන් සමඟ සම්පූර්ණයෙන්ම අනුකූල වේ.
3 විද්යුත් ස්ථිතික සංවේදී වේෆර් ආරක්ෂා කිරීම සඳහා අච්චුව තුළ වෙනස් කරන ලද ESD ආරක්ෂාව
තාවකාලික ඉසින ආලේපන සහිත වාණිජමය වශයෙන් ලබා ගත හැකි ප්රති-ස්ථිතික අත්වැසුම් මෙන් නොව, Gonars නයිට්රයිල් පාදක ද්රව්යයක් මත අච්චු ප්රති-ස්ථිතික වෙනස් කිරීමේ තාක්ෂණයක් භාවිතා කරයි. මෙය ස්ථාවර සහ ඒකාකාර මතුපිට ප්රතිරෝධය සහතික කරයි, ප්රභා ප්රතිරෝධක බිඳවැටීමට සහ නිරවද්ය වේෆර් පරිපථවලට හානි කිරීමට හේතු විය හැකි ස්ථිතික ගොඩනැගීම වැළැක්වීම සඳහා සම්පූර්ණ ක්රියාවලිය පුරාම ස්ථිතික විදුලිය අඛණ්ඩව විසුරුවා හරියි. නිරාවරණය සහ සංවර්ධනය වැනි මූලික ලිතෝග්රැෆි පියවර සඳහා එය සුදුසු වේ.
4 නම්යශීලී සහ තද යෝග්යතාවය, මයික්රෝන මට්ටමේ නිරවද්ය මෙහෙයුම් සඳහා සුදුසු වේ.
අත්වැසුම් ද්රව්ය නම්යශීලී වන අතර අතේ සමෝච්ඡයන්ට අනුකූල වේ. ඇඟිලි තුඩුවල ලිස්සා නොයන වයනය සහිත මෝස්තරයක් ඇති මෙය සැහැල්ලු හා විශාල නොවන අතර එමඟින් ෆොටෝලිතෝග්රැෆි වේෆර් හැසිරවීම, උපකරණ නිදොස්කරණය සහ නිරවද්ය පරීක්ෂාව වැනි නිරවද්ය මෙහෙයුම් සඳහා වඩාත් සුදුසු වේ. එය අසීමිත චලනය සපයන අතර ලිස්සා යාම වළක්වයි, අතින් ක්රියාත්මක වන විට අහම්බෙන් සිදුවන ගැටිති නිසා සිදුවන හානිය ඵලදායී ලෙස අවම කරයි. ඊට අමතරව, එය ෆොටෝලිතෝග්රැෆි ද්රාවක සහ මෘදු අම්ල සහ ක්ෂාර වලට ප්රතිරෝධී වන අතර, දිගුකාලීන භාවිතයේදී පවා වයසට යාමෙන් හෝ ඉරී යාමෙන් තොරව කල් පවතිනව පවතී.
5
✅ ද්විත්ව ස්ථර රික්ත-මුද්රා තැබූ ඇසුරුම් ද්විතියික දූෂණය ඉවත් කරයි.
නිමි භාණ්ඩ 100 පන්තියේ පිරිසිදු කාමරයක සම්පූර්ණ ක්රියාවලිය පුරාම ඇසුරුම් කර ඇති අතර, ද්විත්ව ස්ථර රික්ත-මුද්රා තැබූ ඇසුරුම් භාවිතයෙන් ගබඩා කිරීමේදී සහ ප්රවාහනයේදී දූවිලි හා තෙතමනයෙන් සම්පූර්ණයෙන්ම හුදකලා වේ. පැකේජය විවෘත කිරීමේදී ද්විතියික දූෂණයක් සිදු නොවන අතර, ඒවා 100 පන්තියේ ලිතෝග්රැෆි පිරිසිදු කාමරවල වහාම භාවිතා කිරීමට ඉඩ සලසයි.
පළ කිරීමේ කාලය: ජූලි-23-2026